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測(cè)量范圍 |
電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；
電阻：0.001～200Ω.cm；
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可測(cè)晶片直徑 |
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))； |
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恒流源 |
電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； |
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四探針探頭基本指標(biāo) |
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) |
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差 |
(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 |
≤5% |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射； |
京公網(wǎng)安備 11010802034799號(hào)
